Beschaffung einer Laserlithographie-Anlage für den Reinraum des Instituts für Quantentechnologien am DLR-Standort Ulm zur Herstellung kompakter Quantensysteme.

Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) beschafft für den Reinraum des Instituts für Quantentechnologien in Ulm eine Laserlithographie-Anlage. Diese dient der Etablierung einer kompletten Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip. Die Anlage ermöglicht eine hochauflösende direkte Lithographie auf dem Zielsubstrat sowie die Herstellung von UV-Lithographiemasken. Die Ausschreibung umfasst ausschließlich die spezifizierte Anlage; Medien und Peripherien werden separat bereitgestellt.

Beschaffung einer Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette zur direkten Lithographie auf Zielsubstraten sowie zur Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie für den Reinraum des Instituts für Quantentechnologien.