Ausschreibung
Bekanntmachungs-ID: 74b4b6a8-765f-46d2-a0b3-07344fa28025
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Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) beschafft für den Reinraum des Instituts für Quantentechnologien in Ulm eine Laserlithographie-Anlage. Diese dient der Etablierung einer kompletten Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip. Die Anlage ermöglicht eine hochauflösende direkte Lithographie auf dem Zielsubstrat sowie die Herstellung von UV-Lithographiemasken. Die Ausschreibung umfasst ausschließlich die spezifizierte Anlage; Medien und Peripherien werden separat bereitgestellt.
Beschaffung einer Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette zur direkten Lithographie auf Zielsubstraten sowie zur Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie für den Reinraum des Instituts für Quantentechnologien.
Anforderungen an den Bieter
- Eintragung ins Handelsregister
- Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit 1.000.000 EUR Deckungssumme
- Eigenerklärung BMWK-Russland
- Eigenerklärung GWB
- Eigenerklärung MiLoG
- Eigenerklärung ILO
Besondere Bedingungen
- Ausschlussgründe gemäß §§ 123 und 124 GWB
- Einhaltung der Sanktionen gemäß VO (EU) Nr. 833/2014
- Angebote in deutscher oder englischer Sprache