Tender Notice

Notice ID: 7e0b5e8e-eca2-450b-86df-dcc750dc2253

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LM

Leon Müller

Business Development Manager

MaibornWolff GmbH

Published
Today
Submission
in 33d
79108 Freiburg
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 (München)
vergabe.fraunhofer.de
Project Overview

Beschafft wird ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät für einen Reinraum der ISO-Klasse 4. Die Anlage muss europäischen Sicherheitsvorschriften entsprechen. Sie soll Wafer und Lithographie-Masken mittels wässriger und saurer Lösungen von Partikeln und Verschmutzungen befreien. Die Prozesskammer muss aus prozessmedienresistentem Material gefertigt sein. Eine Absaugung und Leckageerkennung sind erforderlich. Die Anlage muss Partikel größer als 250 nm zuverlässig entfernen. Dies dient der Sicherstellung der Reinheit für Prozesse im Reinraum des Fraunhofer IAF. Die Prozessausbeute darf nicht beeinträchtigt werden. Die Laufzeit des geplanten Projekts beträgt 14 Monate.

1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3). Gerät für Reinraum ISO-Klasse 4. Reinigt Wafer und Masken mit wässrigen Lösungen.

Project Location
Tullastr. 72, 79108 Freiburg, DEU
Finanzen
Geschätztes Honorar 450.000,00 €
Eignung

Bidder Requirements

  • Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
  • Mindestjahresumsatz nach §45 VgV
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter 'Ausschreibungsbedingungen' aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Original Title: Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P
deen