Ausschreibung

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MK

Mario Kötter

Projektleiter

cadventure GmbH

Veröffentlicht
Heute
Abgabe
in 33T
79108 Freiburg
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 (München)
vergabe.fraunhofer.de
Projektübersicht

Beschafft wird ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät für einen Reinraum der ISO-Klasse 4. Die Anlage muss europäischen Sicherheitsvorschriften entsprechen. Sie soll Wafer und Lithographie-Masken mittels wässriger und saurer Lösungen von Partikeln und Verschmutzungen befreien. Die Prozesskammer muss aus prozessmedienresistentem Material gefertigt sein. Eine Absaugung und Leckageerkennung sind erforderlich. Die Anlage muss Partikel größer als 250 nm zuverlässig entfernen. Dies dient der Sicherstellung der Reinheit für Prozesse im Reinraum des Fraunhofer IAF. Die Prozessausbeute darf nicht beeinträchtigt werden. Die Laufzeit des geplanten Projekts beträgt 14 Monate.

1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3). Gerät für Reinraum ISO-Klasse 4. Reinigt Wafer und Masken mit wässrigen Lösungen.

Standort Projekt
Tullastr. 72, 79108 Freiburg, DEU
Finanzen
Geschätztes Honorar 450.000,00 €
Eignung

Anforderungen an den Bieter

  • Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
  • Mindestjahresumsatz nach §45 VgV
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter 'Ausschreibungsbedingungen' aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Originaltitel: Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P
deen