Tender Notice

Notice ID: fb2c0264-dd95-4e19-bd02-d23d57adfd89

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"Tender Zen is a huge help and makes the analysis so much easier."

FS

Friedrich Sommer

Sales Coordinator

LOUPZ GmbH & Co. KG

Published
1d ago
Today
Submission
in 33d
Contract Start
in 131d
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. (Bonn)
deutsche-evergabe.de
Project Overview

Erneuerung einer bestehenden Prozessüberwachung mesc21-11. Nanofocus-Topografiemesssystem SN 700259. Standort: Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Zentrales Element ist ein automatisches Handlingsystem für Wafer in einer separaten, geschlossenen Umgebung. Das System kann Wafer von einem SEMI 300 mm FOUP aufnehmen und dem vorhandenen Messgerät zuführen. Es kann auch 200 mm Wafer in einen geeigneten Adapter einführen und diese 200 mm Wafer in einem Adapter für die Verarbeitung in Standard 300 mm Werkzeugen handhaben. Anschließend werden die 200 mm Wafer im Adapter in einem SEMI Standard 300 mm FOUP untergebracht. Die geplante Ausführungszeit ist von Juni 2026 bis Juli 2026.

Upgrade einer Messtechnik für Wafer. Automatisches Handlingsystem für Wafer. Kapazität für 300 mm FOUP. Integration in 300 mm Werkzeuge.

Project Location
DEU
Eignung

Bidder Requirements

  • Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
  • Mindestjahresumsatz nach §45 VgV

Role Qualifications

  • Architekt mit Bauvorlageberechtigung
  • Ingenieur mit 5 Jahren Erfahrung
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • elektronische Rechnung erforderlich
  • elektronische Zahlung erforderlich
Original Title: Process Monitoring Tool
deen