Ausschreibung

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"Das Onboarding hat mich beeindruckt – Tender Zen hat ein Suchprofil direkt von unserer Unternehmenswebsite erstellt."

LM

Leon Müller

Business Development Manager

MaibornWolff GmbH

Veröffentlicht
vor 46T
Abgabe
vor 12T
Heute
Vertragsbeginn
in 86T
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. (Bonn)
Projektübersicht

Erneuerung einer bestehenden Prozessüberwachung mesc21-11. Nanofocus-Topografiemesssystem SN 700259. Standort: Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Zentrales Element ist ein automatisches Handlingsystem für Wafer in einer separaten, geschlossenen Umgebung. Das System kann Wafer von einem SEMI 300 mm FOUP aufnehmen und dem vorhandenen Messgerät zuführen. Es kann auch 200 mm Wafer in einen geeigneten Adapter einführen und diese 200 mm Wafer in einem Adapter für die Verarbeitung in Standard 300 mm Werkzeugen handhaben. Anschließend werden die 200 mm Wafer im Adapter in einem SEMI Standard 300 mm FOUP untergebracht. Die geplante Ausführungszeit ist von Juni 2026 bis Juli 2026.

Upgrade einer Messtechnik für Wafer. Automatisches Handlingsystem für Wafer. Kapazität für 300 mm FOUP. Integration in 300 mm Werkzeuge.

Standort Projekt
DEU
Eignung

Anforderungen an den Bieter

  • Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
  • Mindestjahresumsatz nach §45 VgV

Rollenqualifikationen

  • Architekt mit Bauvorlageberechtigung
  • Ingenieur mit 5 Jahren Erfahrung
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • elektronische Rechnung erforderlich
  • elektronische Zahlung erforderlich
Originaltitel: Process Monitoring Tool
deen