Bekanntmachungs-ID: 3470dab6-6f68-42c5-8fad-75d3b14b0453
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Ausschreibung für zwei Waferprober zur automatisierten Charakterisierung von Schaltungen im Millimeterwellenbereich bis ca. 250 GHz. Höchste Anforderungen an die Positioniergenauigkeit für Pads von ca. 10µm auf ø300 mm Wafer. Automatische Höhenkorrektur (Z-Profiling) aufgrund von Höhenvariationen um ±10µm erforderlich. Notwendigkeit einer Temperatur-Regelung des Chucks gegeben. Beschaffung von Geräten für angewandte Forschung.
Zwei Waferprober für automatisierte Charakterisierung. Bis ca. 250 GHz Messtechnik. Positioniergenauigkeit von 10µm. Automatische Höhenkorrektur.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen