Ausschreibung

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MK

Mario Kötter

Projektleiter

cadventure GmbH

Veröffentlicht
vor 4T
Heute
Abgabe
in 34T
79108 Freiburg
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 (München)
vergabe.fraunhofer.de
Projektübersicht

Das Fraunhofer IAF schreibt die Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems (E-Beam) aus. Die Anlage dient der Metallbeschichtung von 150-mm-Wafern in einer wassergekühlten Hochvakuum-Prozesskammer. Das System muss sowohl für die vertikale als auch für die schräge Metallabscheidung (Substratneigung 45 Grad) ausgelegt sein und über eine computergestützte Steuerung verfügen. Die Vertragslaufzeit beträgt 7 Monate. Bieter müssen Referenzen für mindestens drei vergleichbare Verdampfungssysteme der letzten drei Jahre vorlegen.

Anschaffung einer wassergekühlten Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage (E-Beam) für die Metallbeschichtung von 150-mm-Wafern im Hochvakuum, inklusive vertikaler und schräger Abscheidung.

Standort Projekt
Tullastr. 72, 79108 Freiburg, Deutschland
Eignung

Anforderungen an den Bieter

  • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach §123 und § 124 GWB
  • Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014
  • Referenzen für mindestens drei vergleichbare Verdampfungssysteme (nicht älter als drei Jahre)
  • Nachweis über Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • Einsatz von Nachunternehmern muss gemeldet und deren Eignung nachgewiesen werden
  • Zuschlagskriterien: 65% Technik, 35% Preis
Originaltitel: Evaporation System (IAF-06.1) - PR1197813-2050-P
deen