Ausschreibung
Bekanntmachungs-ID: 736a6023-f83e-4608-80a6-a7eaddb358f6
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Das IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik schreibt die Lieferung eines halbautomatischen 300-mm-HF-Messsystems für On-Wafer-Messungen bis 250 GHz aus. Das System muss eine kontrollierte Trockenatmosphäre zur Vermeidung von Kondensation, eine definierte Schnittstellenarchitektur für thermische Spannfutter sowie eine automatische Wafergrößenerkennung (150/200/300 mm) bieten. Technische Anforderungen umfassen einen Präzisions-XY-Tisch mit einer Wiederholgenauigkeit von unter 1,0 µm sowie eine integrierte Schwingungsisolierung. Die Vergabe erfolgt nach VgV.
Beschaffung eines halbautomatischen 300-mm-HF-Messsystems für On-Wafer-Messungen bis 250 GHz inklusive integrierter Trockenatmosphäre und Präzisions-Positionierungseinheiten für das IHP Leibniz-Institut.
Anforderungen an den Bieter
- Eintragung in das Handelsregister
- Referenznachweis für Lieferleistungen
Besondere Bedingungen
- Registrierung auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg für Angebotsabgabe erforderlich
- E-Rechnung zulässig