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Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Anschaffung einer chemisch-mechanischen Poliermaschine (CMP) für wissenschaftliche Zwecke. Die Maschine ist für das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen vorgesehen und muss für Wafer-Probengrößen bis 100 mm Durchmesser sowie eine RMS-Rauigkeit von unter 1 Nanometer geeignet sein. Das Budget ist auf maximal 225.000,00 Euro netto begrenzt.
Anschaffung einer chemisch-mechanischen Poliermaschine (CMP) für die Friedrich-Schiller-Universität Jena zum Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen
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Bekanntmachungs-ID: f8934a72-e9e0-4afc-bfaa-80a88b3bbdb2